スパッタリング装置

Northglassのスパッタリング装置には、回転/平面カソード、エンドブロック、マグネットバーが含まれ、新規・既製品を問わずスパッタリング装置の設計製作も承っております。

Northglassはシングル回転、ダブル回転、シングル平面、ダブル平面のカソードを提供しています。各カソードは、カソードベース、蓋、プロセスガス分配、水・電気の接続、真空測定、制御システムが装備されます。

エンドブロック

NorthglassはEB-CAC、EB-CB、EB-CSの3シリーズのエンドブロックを提供しています。様々な産業分野の方々のご要望にお応えします。すべてのエンドブロックは、ユーザーによる訓練を受けたスタッフ自身によってメンテナンスされ、トレーニングプログラムはユーザーの工場で実施され時間とコストを大幅に削減できます。

EB-CAC シリーズ

エンドブロックの各対は、駆動端と水/電気端で構成され、駆動端はターゲット回転用と一方は水・電気接続用。
対称コーターのほぼすべてのカソードに使用できる。

シリーズ	型	電流-周波数y	RPM	ターゲット管直径	ターゲット管長さ	許容電圧
EB-CAC	ダブルエンド	≤320A, ≤40kHZ	≤30r/min	≤155mm	≤3900mm	< 1500V

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EB-CB シリーズ

機能端と支持端の一対で構成され、機能端はターゲットの回転と水・電気の接続用、一方はサポートとして機能を果たす。
このシリーズは非対称コーターに使用できる。

シリーズ	型	電流-周波数	RPM	ターゲット管直径	ターゲット管長さ	許容電圧
EB-CB	シングルエンド	≤320A, ≤40kHZ	≤30r/min	≤155mm	≤3900mm	< 1500V

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EB-CS シリーズ

機能端と支持端の一対で構成され、機能端はターゲットの回転と水・電気の接続用、一方はサポートとして機能を果たす。
このシリーズは非対称コーターに使用できる。
下向きに設置することでターゲットと基板の距離を簡単に調整できる。

シリーズ	型	電流-周波数	RPM	ターゲット管直径	ターゲット管長さ	許容電圧
EB-CS	シングルエンド	≤225A, ≤40kHZ	≤30r/min	≤155mm	≤2500mm	< 1500V

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MBシリーズマグネットバー

技術的な特長

アルミ押出管は磁石とヨークを冷却水から離すことで、長時間の水中浸漬による影響はありません。マグネットバーの剛性を向上させ、ねじれたマグネットスチールとターゲット管の間の摩擦と磁場の変動を低減する
新設のねじ山調整構造により磁場の均一と正確な制御が可能
ターゲット管の高温パートから直接排出される冷却水は効率的に熱を下げる
設置やメンテナンスが簡単

	MB3300	MB2540	MB1400
マグネットバーの長さ ( mm )	3850	3192	1920
磁力	>550GS
均質性	≤±1.0%
調整可能範囲	≤±25%